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威廉姆斯的演讲刚结束,史密斯就举手提问:"博士,您提到中微在等离子体控制算法上有独特创新,这与ASML的技术路线有何本质区别?"
会场瞬间安静。李一凡知道,这是美国调查组精心准备的陷阱。如果威廉姆斯说技术完全不同,就等于否定自己在ASML的研究成果;如果承认有相似之处,又会被质疑技术转移。
但李一凡早有准备。昨晚他专门找威廉姆斯沟通过,现在看着对方从容不迫的样子,他知道这个老牌工程师已经完全理解了自己的意图。
"很好的问题。"威廉姆斯走到投影屏幕前,调出一张复杂的技术路线图,"让我用这张图来解释。ASML在等离子体控制上采用的是经典的PID控制理论,这在90年代就已经成熟。但中微另辟蹊径,开创了基于机器学习的自适应控制系统。"
他快速在白板上写下一串数学公式:"这是传统PID控制的局限,而这个。。。"他又写下一个更复杂的方程,"是中微的创新突破。从数学本质上看,两者是完全不同的技术路径。"
台下的调查组专家们交头接耳,细细研究那些方程。李一凡注意到,技术专家詹姆斯的表情有了明显变化。
"更重要的是,"威廉姆斯继续说道,"这种自适应算法让14nm刻蚀机在精度和稳定性上实现了质的飞跃。去年在台积电的测试数据可以证明这一点。"
他投影出一组对比数据,精确到小数点后六位。这些都是真实的测试结果,每一个数字都经得起推敲。
"史密斯先生,"威廉姆斯直视着提问者,"我在ASML工作时就提出过类似的创新设想,但并未被采纳。而在中微,我看到了将这种突破性理念转化为现实的可能。这正是我选择加入的原因。"
史密斯还想继续追问,这时一个意外的声音打断了他。
"我来补充几句。"德国西门子半导体前总裁汉斯·克劳斯站了起来,"作为第三方,我可以证明中微的技术路线确实具有独创性。事实上,我们最新的光刻胶配方就是专门针对这种创新算法开发的。这种配合才创造了纳米级的精确控制。"
李一凡嘴角微扬。这正是他昨天和克劳斯密谈的成果。有了这位德国权威的背书,调查组的质疑就更难立足了。
但真正的杀手锏还在后面。日本东芝研究院院长山本浩二拿起话筒:"我注意到中微在专利申请上的一个细节。他们最早的等离子体控制专利是在2008年提交的,那时威廉姆斯博士还在ASML。这证明他们的技术创新是完全独立的。"
会场响起一阵议论声。这个时间点太关键了。李一凡平静地看着史密斯,后者的脸色变得有些难看。显然,调查组之前并未注意到这个细节。
"李书记,"陈松年副省长低声说,"高明啊!让国际权威来佐证,比我们自己辩解更有力。"
李一凡微微一笑。他知道,这场较量才刚刚开始。仅仅证明技术来源的合法性还不够,更要让美方意识到,打压中微对整个产业链都没有好处。
这时,韩国三星半导体的代表突然举手:"我们已经完成了对中微14nm刻蚀机的测试评估。基于结果,我们准备追加30台订单。如果贸易限制影响到供货,将严重干扰我们的产能规划。"
三星半导体代表的发言让会场气氛骤然紧张。这已经不仅仅是技术问题,而是涉及全球半导体产业链的稳定。李一凡注意到史密斯正在与调查组其他成员交换眼色。
就在这时,台积电的代表也站了起来:"我们在去年四季度的测试中发现,中微的刻蚀机在特定工艺环节上,性能甚至优于现有设备。基于这个结果,我们已经决定追加20台订单。"
"容我补充一点。"德国默克亚太区总裁施耐德接过话题,"我们正在和星城谈判50亿投资的光刻胶项目。这个项目是专门针对中微的刻蚀机定制的。如果贸易限制影响到合作,我们的投资计划也要重新评估。"
李一凡暗自点头。这就是他昨晚密集走访各大企业代表的成果。让这些国际巨头站出来表态,比官方的解释更有说服力。
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